【分子泵極限真空一般為多少】分子泵維修之渦輪分子極限壓力的產生過程

? ?渦輪分子泵的極限壓力p1能用泵出入口壓力p2除于泵的壓縮比K獲得，即(2-24)? K? 渦輪分子泵的K值，隨含量的提升而擴大，它對油蒸汽的壓縮比尤其大? 因此可以得到 氮氧化合物環境污染較少的清理真空泵，但針對輕的汽體如氫的壓縮比卻很 低，因此 前級氫分壓電路是影響泵的極限壓力較重要的要素，氫的分壓電路關鍵來自前級 真空泵運行時油裂化造成氫的影響，不一樣型號的前級機械設備油閥，對分子泵的極限壓? 力的影響遙遠超過泵軸承潤滑油的影響。高壓縮比的分子泵，歷經烤制后能得到 ? 1×10=6~1×10-9Pa的真空值，氫占殘留汽體成份的90%之上。

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圖227所顯示為泵效為200L/s的渦輪分g? 子泵其前級壓力p1對泵的極限壓力pm的影響。1能夠看得出，前級壓力從1Pa擴大到130Pa時，泵的極限壓力不會受到影響，當前級壓力從65Pa提前級壓力高到130Pa時，泵的極限壓力從4×105Pa增? 加進2×10-3Pa，前級壓力從130Pa再次提升 到200Pa時，泵的極限壓力快速擴大三個量級，? 這時受泵的抽真空葉列中汽體流動性情況轉變的影響，泵的壓縮比從K=104降至? K=102。