【低溫泵保養】低溫泵維修之極限壓力調試情況說明

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?低溫冷疑的基礎理論極限壓力? 低溫冷覆的極限壓力關鍵在于低溫板溫度下氣體的飽和蒸氣壓。不考慮到被抽? 器皿的放空氣和漏汽，低溫冷疑抽真空的基礎理論極限壓力。為

p√7
式中P—低溫泵的基礎理論極限壓力? 低溫板溫度T。下的氣體飽和蒸氣壓，Pa;
T—出射到低溫板的氣體溫度，K;
7—低溫板溫度，K
當5k=300K,7,=20K,帶入式(230)得
(2-31)? 在沒抽氣體成份是危害泵的基礎理論極限壓力關鍵主要參數，危害較大 的氣體是氫和氦，? 2K液態氮溫度下，氮和氫的飽和蒸氣壓各自為105Pa和7×105Pa,氖在該溫? 度下的飽和蒸氣壓是10-16Pa,能用液態氮溫度的低溫板徹底消除氖。用真空泵將容? 器中的空氣抽至10Pa時，器皿中剩下的氫、氖、氦分壓電路約為2.35×10-4Pa。假如? 用碳分子篩吸附泵預真空包裝時，狀況更加不好，可能這種無法冷疑的氣體分壓電路達到? 10-Pa
表2-19和表220各自得出了氣體(氦、氫、氖)的飽和蒸氣壓和低溫板不在? 同溫度下抽除300K氣體，按公式計算(231)測算的基礎理論極限壓力。? 2.4.3.2低溫吸附的基礎理論極限壓力? 一切超濾裝置都難以避免地存有泄露和原材料排氣，僅用10~20K的低溫板抽? 氣時，泵的極限壓力將隨抽真空時間慢慢上升，緣故是空氣中帶有2.35×105的難
以抽除的氣體(氖1.8×10-5;氦5×10-6;氫5×10-7),而氫也是原材料排氣的? 關鍵氣體成份，因此 ，當代低溫泵的低溫板上面涂有活性碳、碳分子篩等呼吸劑材? 料，運用低溫吸附來抽除無法抽除的氫、氖、氦氣體。
得出的公式計算(2-30)仍適用沾有活性碳、碳分子篩的低溫泵，測算低溫冷疑理? 論極限壓力，必須將公式計算中的p用低溫板溫度下吸附劑吸附氣體量v后的均衡氣? 體壓力p替代。圖243得出了活性碳和5A[圖2-43(a)]、13X[圖2-43(b)]分? 子篩對N2、H、He、Ne的吸附等溫線。通常條件下，應用活性碳，比碳分子篩具? 有更強的吸附工作能力
般吸附劑吸附氣體的均衡壓力力比該溫度下冷疑氣體的飽和蒸氣壓p。低數? 個量級，低溫泵的基礎理論極限壓力受制于氣體的飽和蒸氣壓。設計方案低溫泵可用較少? 工作中壓力的1/10~1/100做為泵的極限壓力設計方案限制，從而能夠明確低溫板的溫? 度、吸附劑吸附量的較高值Vmax和泵工作中使用壽命tmax(2次再造中間的時間)。
2.4.3.3低溫泵評測極限壓力? 檢測低溫泵的極限壓力時，真空泵維修一般選用與擴散泵同樣的檢測罩，這時候精確測量到的極? 限壓力是氣體的飽和蒸氣壓和滿載時器皿內總的氣體負載與泵的泵效之比，即

h=b⊥Q

(2-32)? 式中p—低溫泵的評測極限壓力，Pa;? 低溫泵的基礎理論極限壓力，Pa;? Q滿載真空泵器皿總的氣體負載(漏汽隨和壁原材料排氣),Pa·L/s;? S—低溫泵的合理泵效，L/? 因為低溫泵冷疑的基礎理論極限壓力遠小于吸附的極限壓力，沒有吸附原材料的低溫? 泵運用公式計算(232)中的p是低溫冷疑基礎理論極限壓力；含有吸附原材料的低溫泵，? 式(2-32)中的力為泵的低溫吸附基礎理論極限壓力。? 真空泵器皿滿載標準下器壁原材料排氣是泵的關鍵氣體負荷(忽視漏汽危害),? 些常見原材料的排氣速度見表2-21
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