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真空系統(tǒng)檢漏是指在真空系統(tǒng)中檢測并排除泄漏的過程。常用的真空系統(tǒng)檢漏方法包括以下幾種：
氣體探測器法：利用氣體探測器檢測真空系統(tǒng)中的氣體濃度，從而判斷是否存在泄漏。常用的氣體探測器有質(zhì)譜儀、氣體色譜儀、氦質(zhì)譜儀等。
真空計法：利用真空計測量真空系統(tǒng)的壓力變化，從而判斷是否存在泄漏。常用的真空計有熱陰極離子化真空計、熱陰極離子化真空計等。
氣泡法：將真空系統(tǒng)的部件浸入水中，觀察是否有氣泡冒出，從而判斷是否存在泄漏。該方法適用于對小型和密封性較差的部件進行泄漏檢測。
氣壓差法：在真空系統(tǒng)的兩端分別施加氣壓，觀察系統(tǒng)中的壓力變化，從而判斷是否存在泄漏。該方法適用于對大型和密封性較好的部件進行泄漏檢測。
熒光檢漏法：在真空系統(tǒng)中加入熒光探劑，利用紫外光檢測熒光信號，從而判斷是否存在泄漏。該方法適用于對密封性要求較高的部件進行泄漏檢測。
綜上所述，真空系統(tǒng)檢漏常用的方法包括氣體探測器法、真空計法、氣泡法、氣壓差法和熒光檢漏法等。對于不同的檢測對象和需求，可以選擇適合的檢漏方法進行泄漏檢測。
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