【真空泵抽速】低溫真空泵線性抽速是怎么樣的

? ?低溫泵的抽速曲線圖與一般機械泵抽速曲線圖不一樣,低溫泵在高工作壓力區(qū)的抽速超過在低工作壓力區(qū)? 域的抽速,低溫泵冷凝吸咐不一樣的氣體時,其抽速特點曲線圖是不一樣的,并且評測說明其不一樣溫? 度下的吸附等溫線也不一樣,發(fā)展趨勢相近,但切線斜率不一樣。

圖910是 Dawson和 Haygood測出的室內(nèi)溫度下? CO2在77K超低溫涼面上凝結(jié)的典型性抽速曲線圖,可? 對其表述以下? 三
剛開始抽真空時,泵人口壓力較高,氣總流量超出? 泵的超低溫冷凝工作能力,并且因為氣體的導(dǎo)熱和對? 廣為流傳熱電效應(yīng)較強,使冷凝層外表溫度升高,吸咐? 概率(凝結(jié)指數(shù))較低,而且非凝結(jié)性氣體在冷? 10

工作壓力Pa
0凝板周邊沉積,對被抽氣體產(chǎn)生阻擋層,可凝性? 氣體務(wù)必歷經(jīng)撞擊才可以根據(jù)阻擋層凝結(jié)在冷凝板? 上,這時氣體分子在冷凝表層(或阻擋層)上的? 圖910典型性抽速曲線圖(O2在? 77K涼面上凝結(jié))
反射面數(shù)量(N)很大;因此 使抽速較低。? 伴隨著工作壓力慢慢減少,冷軋鋼板溫度保持穩(wěn)定,氣體分子的反射面量降低,被冷凝吸咐的氣體分子? 數(shù)量慢慢升高,即抽速提升。直至某一較大 (臨界值)值。自此,盡管伴隨著氣體工作壓力的減少,氣? 體反射面量再次減少,可是由于吸咐冷凝層中冷凝的氣體再次揮發(fā)的數(shù)量提升,并且因氣體壓力? 低,單位時間內(nèi)撞擊到冷凝表層上的氣體分子數(shù)量降低,促使再次揮發(fā)的氣體分子數(shù)量超過反? 射量少的數(shù)量,因此 S降低。在分子流情況下,冷軋鋼板的吸咐工作能力遠高于撞擊到冷軋鋼板上的氣體? 分子數(shù)量,泵冷軋鋼板總面積一定,抽速一定,與工作壓力不相干(見公式計算14-1)。直至極限工作壓力下(器皿? 內(nèi)的工作壓力與凝結(jié)物的揮發(fā)工作壓力均衡時),冷凝吸咐的氣體數(shù)量與從冷凝層揮發(fā)的氣體數(shù)量相同,