?? 中小型制冷機(jī)低溫泵的起動(dòng)工作壓力受致冷輸出功率限定,不可以在大氣壓力下工作中,可依據(jù)? 對(duì)真空泵清理水平的規(guī)定,將系統(tǒng)軟件工作壓力粗抽中100-101a就可以起動(dòng)制冷機(jī)制冷壓縮機(jī)? 做到要求的致冷時(shí)間后就可以關(guān)掉前面粗抽閘閥終止粗抽,開(kāi)啟高真空閥轉(zhuǎn)換到超低溫? 泵抽真空。低溫泵進(jìn)風(fēng)口容許的較大工作壓力稱之為變換工作壓力(與二級(jí)冷頭致冷輸出功率和被抽? 器皿容積相關(guān)),應(yīng)依照生產(chǎn)廠家得出的變換工作壓力開(kāi)展實(shí)際操作,過(guò)高的變換工作壓力會(huì)危害制冷機(jī)低溫泵的一切正常工作中? 中小型制冷機(jī)低溫泵與磁控濺射離子泵對(duì)比,起動(dòng)非常容易,能抽除很多氡氣,不會(huì)有高的反復(fù)運(yùn)動(dòng),會(huì)造成輕酸的震動(dòng),系統(tǒng)設(shè)置電子器件能諧儀、二次正離子諧儀和別的表面檢測(cè)儀時(shí),必須選用合理的減震對(duì)策? 低溫泵進(jìn)風(fēng)口冷軋鋼板溫度遠(yuǎn)小于真空泵器皿的壁溫,這類溫度場(chǎng)對(duì)泵口周邊的氣體? 分子結(jié)構(gòu)的空間布局有顯著的更改,會(huì)危害真空計(jì)的測(cè)量精度,比較嚴(yán)重時(shí)出現(xiàn)偏差的原因貼近一倍之? 多。同樣,不一樣溫度表面揮發(fā)出的分子結(jié)構(gòu)速率不一樣,待別是超低溫面很大的系統(tǒng)軟件(如空? 間環(huán)模機(jī)器設(shè)備)難以論述系統(tǒng)軟件中工作壓力的準(zhǔn)確實(shí)際意義,它是在開(kāi)展表面剖析科學(xué)研究時(shí)必須尤其關(guān)心的難題
低溫泵另一難題是制冷機(jī)能力有限,非常容易受長(zhǎng)波紅外感應(yīng)的輻射源危害,試樣或生? 產(chǎn)加工工藝用電加熱器開(kāi)展加溫時(shí),對(duì)超低溫表而需設(shè)計(jì)方案熱屏蔽掉(如泵口改裝水冷散熱隔板等)規(guī)定熱屏蔽掉的設(shè)計(jì)方案既要具備優(yōu)良的屏蔽掉實(shí)際效果又要不使泵的泵效過(guò)多減少
應(yīng)用中小型制冷機(jī)低溫泵較特別注意的難題是終止泵運(yùn)行時(shí)的安全隱患。全部運(yùn)行期內(nèi)所抽除的氣體都被冷疑吸咐在泵內(nèi),終止運(yùn)行后伴隨著超低溫板的提溫,被抽氣體將所有釋放出,產(chǎn)生的髙壓氣體一旦超出泵殼的沖擊韌性,很有可能產(chǎn)生爆炸事件。針對(duì)中小型的極高超濾裝置,運(yùn)行時(shí)間很短,抽出來(lái)的供氣量非常少,全部的供氣量都不能產(chǎn)生高過(guò)大氣壓力,停泵后能夠無(wú)需前面泵將釋放出來(lái)的氣體抽除,等下一次起動(dòng)低溫泵時(shí)再預(yù)抽釋放出來(lái)的氣體。假如抽真空時(shí)間較長(zhǎng),抽供氣量非常大,停泵時(shí)務(wù)必開(kāi)啟前面泵抽除釋放出來(lái)的氣體,直至二寒冷頭提溫到安全性溫度,才可以所有停用抽真空系統(tǒng)軟件。無(wú)論哪種狀況,必須常常查驗(yàn)檢修過(guò)電壓閥門(mén),一且釋放出來(lái)的標(biāo)準(zhǔn)氣壓過(guò)高,可以全自動(dòng)排至空氣,保證 泵殼安全性。
另一個(gè)安全隱患是不能用低溫泵抽除像H2、O2混和的風(fēng)險(xiǎn)氣體或SiH4這類起火氣體,不然會(huì)存有發(fā)生爆炸安全風(fēng)險(xiǎn)。較好是安裝能將低溫泵釋放出來(lái)的氣體排出來(lái)戶外的排汽管道,做為安全防范的第二道防線