【濺射離子泵電源】濺射離子泵的預抽要注意什么

? ? 濺射離子泵不可以在高過1Pa工作壓力下啟動,務必用預抽泵將泵和器皿從空氣抽? 到泵要求的啟動工作壓力下列才可以啟動。濺射離子泵的預抽,能夠選用下邊四種? 方法。? ①干式機械泵。干式機械泵無油蒸汽的環境污染,用作濺射離子泵的預抽,可獲? 得全無油清理的極高真空泵。可是需要多級別串連或互相組成,可用的干式泵的極限壓? 力見表2-15。? ②骨架密封機械泵加吸咐阱或正離子阱。前面一種能夠抽中10-2~10-3Pa,后面一種只有抽? 到10-Pa,都能使濺射離子泵成功啟動

③干式機械泵加鈦提升阱。先用干式泵或發電機組抽中0-1Pa,關掉閘閥并終止? 抽真空,隨后啟動鈦提升泵,一般只需2~3min,就能將幾十升的真空泵器皿抽中? 關閉鈦提升泵后,再啟動濺射離子泵? ④有液態氮標準下,可選用骨架密封機械泵加液態氮隔板。盡管不可以保證徹底無油? 可是因為預擠時間很短,油的環境污染能夠忽略。啟動快,方便使用。

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