【分子泵和離子泵】分子泵運(yùn)行特性

渦輪增壓分子泵工作中特點(diǎn)具體表現(xiàn)在以下好多個(gè)層面? (1)抽速與轉(zhuǎn)速的關(guān)聯(lián)? 抽速與轉(zhuǎn)速大概有

S

(4-67)? 的關(guān)聯(lián)。在其中：g是決策于幾何圖形樣子的參量；u為動(dòng)葉子的轉(zhuǎn)速。評(píng)測(cè)結(jié)果如圖4-61所顯示? 即抽速隨轉(zhuǎn)速的提升比平行線偏慢。這可由抽速高時(shí)進(jìn)氣口道流導(dǎo)的限定功效來(lái)表述，依式? (4-66),S將隨S1擴(kuò)大而偏移平行線。? (2)抽速與進(jìn)口壓強(qiáng)的關(guān)聯(lián)? 分子泵在分子流的壓強(qiáng)范疇內(nèi)，其抽速基本上不會(huì)改變。由于分子流時(shí)流導(dǎo)C與壓強(qiáng)不相干；? 又依式(4-65),S1只決策輪葉樣子、轉(zhuǎn)速及汽體類型，也與壓強(qiáng)不相干。故依式(4-66),實(shí)? 際抽速也就與壓強(qiáng)不相干。但當(dāng)壓強(qiáng)提高到不符合分子流標(biāo)準(zhǔn)時(shí)(約為2×101Pa),因?yàn)榇? 一部分分子與輪葉不可以立即撞擊，抽速因而快速降低。如圖4-62中的右側(cè)一部分，曲線圖1、2、3? 相匹配不一樣的前面泵

(3)壓縮比與轉(zhuǎn)速及相對(duì)性分子品質(zhì)的關(guān)聯(lián)? 壓縮比與轉(zhuǎn)速及相對(duì)性分子品質(zhì)的平方根有指數(shù)值關(guān)聯(lián)

(G

(4-68? K? 式中，G為決策于幾何圖形樣子的主要參數(shù)? 評(píng)測(cè)結(jié)果與式基礎(chǔ)合乎。如圖4-63所顯示
為壓縮比，在其中：p表明前面泵口的壓? 力，力。表明分子泵通道工作壓力。同一轉(zhuǎn)速下，大汽體分子壓縮比大，極限真空泵高，輕汽體分? 子，壓縮比小，極限真空泵低，即分子泵極限真空泵中以輕分子為主導(dǎo)；也就是說(shuō)，分子泵抽除像? 氡氣、氦氣等輕分子的能力較差。分子量大的汽體，壓縮比較高。它是渦輪增壓分子泵能用來(lái)得到 ? 清潔真空泵的物理學(xué)基本。? (4)壓縮比與前面壓強(qiáng)的關(guān)聯(lián)? 一般分子泵挑選真空泵做為前面泵，當(dāng)今級(jí)壓強(qiáng)考慮一定規(guī)定時(shí)，分子泵工作中平穩(wěn)，壓? 縮比維持參量。如圖所示464所顯示，當(dāng)今級(jí)壓強(qiáng)升高到1Pa時(shí)，小質(zhì)量數(shù)的分子壓縮比剛開始下? 降，當(dāng)今級(jí)壓強(qiáng)升高到數(shù)十帕?xí)r，壓縮比驟降，分子泵便不可以一切正常工作中。

(5)抽速與汽體類型的關(guān)聯(lián)? 抽速與汽體類型如同圖4-65所顯示的關(guān)聯(lián)，即隨的轉(zhuǎn)變比平行線略慢。這是由于在轉(zhuǎn)速? 定時(shí)執(zhí)行，P大的汽體雖然其速度比率大，因此輪葉的何氏指數(shù)大，但他們?cè)谶M(jìn)氣口道的流導(dǎo)? 都因擴(kuò)大而減少。二者綜合性的結(jié)果使S與v的關(guān)聯(lián)轉(zhuǎn)變遲緩

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