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真空技術(shù)的應(yīng)用，使大量高科技產(chǎn)品走入人們的日常生活。事實(shí)上，在研發(fā)和工業(yè)領(lǐng)域的大量應(yīng)用都需要極低的絕對(duì)壓力，即高真空環(huán)境。得名于渦輪機(jī)系列產(chǎn)品，渦輪分子泵代表著全球領(lǐng)先的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。轉(zhuǎn)速高達(dá) 90,000 rpm 的高速轉(zhuǎn)子能產(chǎn)生應(yīng)用所需的壓力條件，從而產(chǎn)生在高真空和超高真空范圍內(nèi)的高達(dá) 10-11 mbar 的真空度。
普發(fā)真空擁有抽速介于10到2,700 升/秒的完整渦輪分子泵產(chǎn)品系列。產(chǎn)品具有很高的性?xún)r(jià)比和靈活的安裝方式。經(jīng)過(guò)實(shí)踐驗(yàn)證的軸承系統(tǒng)提供了更優(yōu)化的可靠性。通常有兩種類(lèi)型的軸承可供選擇——一種是由前級(jí)真空端的陶瓷球軸承與高真空端的永磁徑向軸承組合而成的復(fù)合軸承系統(tǒng)，另一種是完全主動(dòng)式的磁懸浮軸承系統(tǒng)，其轉(zhuǎn)子懸浮空中，無(wú)任何接觸或磨損。得益于精密的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，使產(chǎn)品具有更出色的抽速，更好的前級(jí)泵兼容性和更大的氣流量，對(duì)于小分子氣體具有更高的壓縮比。
現(xiàn)代渦輪分子泵能獲得超過(guò) 400 米/每秒的圓周速度。這將轉(zhuǎn)化為相應(yīng)的高轉(zhuǎn)子動(dòng)能，當(dāng)轉(zhuǎn)子和定子相觸，動(dòng)能將在瞬間傳輸?shù)酵鈿ず捅玫牡鬃稀Ｒ虼?，泵外殼的穩(wěn)定性具有至關(guān)重要的作用，需經(jīng)過(guò)理論和實(shí)際的雙重檢驗(yàn)。普發(fā)真空的渦輪分子泵已通過(guò)UL 61010和/或Semi S2認(rèn)證。除機(jī)械安全性能外，該認(rèn)證同時(shí)也包括了防火和轉(zhuǎn)速過(guò)高的雙重保護(hù)，這向認(rèn)證是由普發(fā)真空與TüV Rheinland共同開(kāi)創(chuàng)的。
真空對(duì)于整個(gè)生產(chǎn)流程成功與否往往起著決定性作用。一旦出現(xiàn)缺陷批次或者生產(chǎn)失敗，根據(jù)用途不同，造成的損失高達(dá)數(shù)百萬(wàn)歐元。因此，所有安裝部件具有較高可靠性變得越來(lái)越重要。如今，渦輪泵的工作時(shí)間常高達(dá)十萬(wàn)小時(shí)以上。在這段時(shí)間內(nèi)，應(yīng)盡可能減少由于維護(hù)或服務(wù)作業(yè)而造成的計(jì)劃內(nèi)中斷。該泵具有可以在現(xiàn)場(chǎng)更換軸承或機(jī)油的特點(diǎn)。結(jié)合該特點(diǎn)，使其具有極高的可用性。渦輪內(nèi)置有集成驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，從而顯著降低了電纜支出。較先進(jìn)的驅(qū)動(dòng)技術(shù)將能耗降至較低，控制方案也多種多樣。符合防護(hù)等級(jí) IP 54 的結(jié)構(gòu)使該泵特別適合于工業(yè)用途。結(jié)構(gòu)形式緊湊，即使在狹窄空間，依然可以安裝使用。為了保持低成本，可以為同一尺寸的泵選擇不同的驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備 可以為同一尺寸的泵選擇不同的驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備。重量方面也在持續(xù)改進(jìn)：一臺(tái)抽速達(dá) 250 l/s 的渦輪泵，其重量?jī)H為 6 kg。普發(fā)真空渦輪泵廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域不僅涵蓋分析儀器、真空處理和半導(dǎo)體技術(shù)，還包括涂層、科研和工業(yè)用途。
在很多產(chǎn)品制造和工藝研究領(lǐng)域中，真空技術(shù)發(fā)揮著決定性的作用。渦輪分子泵對(duì)于制造極純工藝條件具有至關(guān)重要的作用。
應(yīng)用范圍覆蓋多個(gè)領(lǐng)域：
分析儀器（質(zhì)譜分析法、顯微鏡等）
半導(dǎo)體行業(yè)（電子組件、集成電路、太陽(yáng)能電池等）
光學(xué)/玻璃行業(yè)（隔熱保護(hù)、防反射、反射、濾光鏡鍍膜等）
真空鍍膜技術(shù)*（表面保護(hù)、裝飾土層、顯示技術(shù)、屏幕等）
真空冶金（真空焊接、真空燒結(jié)、真空合金、真空爐等）
泄漏檢測(cè)（真空系統(tǒng)、機(jī)車(chē)燃料箱、安全氣囊、真空包裝行業(yè)）
科研設(shè)施（核粒子物理學(xué)、核聚變研究、激光應(yīng)用等）
燈具行業(yè)（燈具生產(chǎn)等）
ATH 500 M
Holweck 級(jí) 5 軸磁懸浮渦輪泵適合用于 N2的直至 550 l/s 的吸氣能力
水冷或風(fēng)冷
帶有CE標(biāo)志且符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
加熱版本（MT）可用于腐蝕性應(yīng)用
緊湊型集成驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備
用于在所有情況下的安裝
ATH 500 M，DN 100 ISO-K，遙控，風(fēng)冷，非加熱 (V2311100)
ATH 500 M，DN 100 ISO-K，遙控，水冷，非加熱 (V2312100)
ATH 500 M，DN 100 CF-F，遙控，風(fēng)冷，非加熱 (V2321100)
ATH 500 M，DN 100 CF-F，遙控，水冷，非加熱 (V2322100)
ATH 500 M，DN 100 ISO-F，遙控，風(fēng)冷，非加熱 (V2361100)
ATH 500 M，DN 100 ISO-F，遙控，水冷，非加熱 (V2362100)
ATH 500 M，DN 160 ISO-K，遙控，風(fēng)冷，非加熱 (V2411100)
ATH 500 M，DN 160 ISO-K，遙控，水冷，非加熱 (V2412100)
ATH 500 M，DN 160 CF-F，遙控，風(fēng)冷，非加熱 (V2421100)
ATH 500 M，DN 160 CF-F，遙控，水冷，非加熱 (V2422100)
ATH 500 M，DN 160 ISO-F，遙控，風(fēng)冷，非加熱 (V2461100)
ATH 500 M，DN 160 ISO-F，遙控，水冷，非加熱 (V2462100)
ATH 500 M，DN 100 ISO-K，Profibus，風(fēng)冷，非加熱 (VY311100)
ATH 500 M，DN 100 ISO-K，Profibus，水冷，非加熱 (VY312100)
ATH 500 M，DN 100 CF-F，Profibus，風(fēng)冷，非加熱 (VY321100)
ATH 500 M，DN 100 CF-F，Profibus，水冷，非加熱 (VY322100)
ATH 500 M，DN 100 ISO-F，Profibus，風(fēng)冷，非加熱 (VY361100)
ATH 500 M，DN 100 ISO-F，Profibus，水冷，非加熱 (VY362100)
ATH 500 M，DN 160 ISO-K，Profibus，風(fēng)冷，非加熱 (VY411100)
ATH 500 M，DN 160 ISO-K，Profibus，水冷，非加熱 (VY412100)
ATH 500 M，DN 160 CF-F，Profibus，風(fēng)冷，非加熱 (VY421100)
ATH 500 M，DN 160 CF-F，Profibus，水冷，非加熱 (VY422100)
ATH 500 M，DN 160 ISO-F，Profibus，風(fēng)冷，非加熱 (VY461100)
ATH 500 M，DN 160 ISO-F，Profibus，水冷，非加熱 (VY462100)
ATH 500 M，DN 100 ISO-K，遙控，風(fēng)冷，非加熱
緊湊型集成驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備
用于在所有情況下的安裝
遠(yuǎn)程遙控，風(fēng)冷，不加熱
帶有CE標(biāo)志且符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
Holweck 級(jí) 5 軸磁懸浮渦輪泵適合用于 N2的直至 350 l/s 的吸氣能力
連接法蘭 DN 100 ISO-K
技術(shù)參數(shù)| 2707-Operating voltage: V DC | 48 (± 5 %) V DC |
| Ar 的壓縮比 | > 8 · 106 |
| Ar 的抽速 | 320 l/s |
| Ar 的氣體流量 | 42.3 hPa l/s | 31.73 Torr l/s | 42.3 mbar l/s |
| H2 的壓縮比 | > 2 · 102 |
| H2 的抽速 | 170 l/s |
| H2 的氣體流量 | > 169 hPa l/s | > 126.75 Torr l/s | > 169 mbar l/s |
| He 的壓縮比 | > 1 · 104 |
| He 的抽速 | 310 l/s |
| He 的氣體流量 | > 169 hPa l/s | > 126.75 Torr l/s | > 169 mbar l/s |
| I/O 接口 | 遠(yuǎn)程遙控 |
| N2 的壓縮比 | > 2 · 107 |
| N2 的抽速 | 350 l/s |
| N2 的較大預(yù)真空 | 2.6 百帕 |
| N2 的氣體流量 | 67.6 hPa l/s | 50.7 Torr l/s | 67.6 mbar l/s |
| 不帶氣鎮(zhèn)的較終壓力 | < 1 · 10-8 百帕 |
| 冷卻類(lèi)型，可選項(xiàng) | 空氣 |
| 冷卻類(lèi)型，標(biāo)準(zhǔn) | 水 |
| 聲壓水平 | ≤42 dB(A) 分貝 (A) |
| 安裝方向 | 任何 |
| 方位 | 配有磁軸承 |
| 較終壓力 | < 1 · 10-8 百帕 |
| 較終壓力時(shí)的功率消耗 | 100 瓦 |
| 電子驅(qū)動(dòng)單元 | 集成驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備 |
| 耗電量 max. | 560 瓦 |
| 轉(zhuǎn)速 ?± 2 % | 50,000 rpm | 50,000 min-1 |
| 運(yùn)行時(shí)間 | < 2 分 |
| 連接法蘭（入口） | DN 100 ISO-K |
| 連接法蘭（出口） | DN 25 ISO-KF |
| 重量 | 17 千克 |
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